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电子气体

电子气体是指应用于电子半导体工业生产的气体。作为集成电路、液晶面板、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺氨赡基础性原质料之一,被称为半导体质料的“粮食”和“源,电子特气是电子工业的要害原料,属于特种气体的重要分支。电子半导体领域是我国特种气体重要细分应用领域之一,海内特种气体在电子半导体领域的销售额已凌驾特种气体年销售额的40%。

电子气体是工业气体中附加值较高的品种,与古板工业气体的区别在于纯度更高(如高纯气体)或者具有特殊用途(如加入化学反应),目前,应用于半导体工业的各个环节的特种气体有110余种,常用的有20-30种。2019年全球电子气体市场规模约为462亿元,预计未来三年增速约为7% ;我国电子气体市场规模约为102亿元,进口替代趋势明显,逐步向高端演进,预计未来三年增速将凌驾15%。

目前电子气体的国产化替代趋势很是明显。中国制造2025,中国制造业转型升级速度加速!在政策大力推动下,国产芯片生长加速,芯片工业有很大的国产替代空间,中国芯片自给率要在2025年抵达70%。

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  • 400-637-7517
    地点:广东省广州市增城新塘镇西洲大王岗工业区
    1. pg电子游戏试玩气体民众号

电子气体
电子特种气体

化学气相沉积(CVD)

NH3、He、N2O、TEOS(C8H20O4Si)、TEB(C6H15BO3)、TEPO( C6H15O4P)、PH3、ClF3、SiH2Cl2、NF3、SiH4、WF6、C2F6、TiCl4、CH4

离子注入

AsF5、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、Xe

光刻胶印刷

F2、He、Kr、Ne

扩散

H2、Cl3OP

刻蚀

He、CF4、C4F8、C5F8、CHF3、CH2F2、Cl2、HBr、BCl3、SF6、CO

掺杂

BCl3、B2H6、BF3、PH3、AsH3

电子大宗气体

情况气、 ;て⒃仄

N2、O2、Ar、CO2


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